六自由度超高精度可动机构测试组件

为了实时补偿高阶像差，28纳米以下光刻机的投影物镜需要实时调整镜片的六自由度位置，因此需要配备六自由度微动调整机构。为了保证每台投影物镜的一致性，需要研制一套离线的六自由度标定平台，利用此平台对投影物镜的微动调整机构进行六自由度精密标定。本项目所开发的六自由度超高精度可动机构测试组件，就是用于标定28纳米以下光刻机投影物镜的可动机构。