所在单位: | 厦门理工学院 | 项目类型: | 信息传输、计算机服务和软件业,科学研究、技术服务和地质勘查业 |
所属领域: | 新一代信息技术 | 项目年份: | 2023 |
项目状态: | 可产业化 | 技术成熟度: | 可产业化 |
联系人: | 连水养 | 联系人电话: | 获取号码 |
项目投资经费: | 合作方式: | 合作开发,其它 |
本项目主要沉积出可应用于柔性深紫外光探测器的非晶氧化镓(amorphous gallium oxide, α-Ga2O3)薄膜。该薄膜采用不同衬底温度下的高速空间式原子层沉积(spatial atomic layer deposition, SALD)法进行沉积。结果表明,在衬底温度为145至155度范围下所得到的饱和沉积速率是传统时间式原子层沉积(Temporal ALD)的4至16倍。因此,相比非饱和SALD条件下的结果,基于饱和SALD条件下所沉积的薄膜具有更少的碳杂质、氧相关缺陷和更大的致密性。
最后,本项目成功制备出一种具有快速衰减时间为161微秒以及低暗电流密度为6.8×10-10 A1cm-2的高性能柔性深紫外α-Ga2O3光电探测器。